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      濰坊華浩電爐有限公司

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      臺車退火爐
      臺車退火爐
      臺車退火爐

      臺車退火爐是一種用于制造半導體器件的工藝,包括加熱若干半導體晶片以影響其電性能。熱處理是為不同的作用而設計的??梢约訜峋约ぐl摻雜劑,將薄膜轉換成薄膜或薄膜轉換成晶片襯底界面,從而可以改變密集沉積的薄膜,可以恢復生長的薄膜,可以修理注入的損害,可以移動摻雜劑或將摻雜劑從襯底上轉移。M薄膜到另一薄膜或從薄膜到晶片襯底。

       臺車退火爐可以集成到其他爐處理步驟中,例如氧化,或者可以自行處理。退火爐是為半導體晶片加熱而設計的設備。退火爐是一種具有節能結構和纖維結構的節能周期運行爐,節電60%。

       臺車退火爐骨架采用多種型材焊接。外框以槽鋼為主梁,外殼板為冷薄板,小車以槽鋼為主梁,底板和前后端板為中板。

       臺車退火爐傳動部分:小車傳動采用電機、減速器通過鏈條在前端驅動一組驅動輪。爐門驅動由蝸輪減速器和電動機驅動。

       密封:小車和爐體采用迷宮式密封結構,小車兩側裝有自動封砂刀密封裝置。門封采用滾道壓簧自動壓緊機構,以優良耐火磚結構密封爐體部分,符合爐子密封。臺車承壓部分采用高壓鋁磚砌體。

       臺車退火爐燃燒系統:在油爐兩側安裝多個燃燒器,熱流在爐內往復流動,保護爐溫均勻??梢愿鶕枰x擇自動和半自動類型。


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